Halbleiterwerk Dresden GLOBALFOUNDRIES
(früher bekannt als AMD)
| Auftraggeber | M + W Zander Facility Engineering GmbH; GLOBALFOUNDRIES Dresden Module One Limited Liability Company & Co. KG; Christ AG, Schweiz; Controlmatic GmbH |
| Anlage | Facility Management Control System (FMCS) |
| Auftragsvolumen | ~ 15 Mio. Euro |
| Projektlaufzeit | 1997 – dato (in diskreten Bauabschnitten) |
Beschreibung
Advanced Micro Devices (AMD) ist ein führender, weltweit tätiger Hersteller von Prozessoren für Computer, Grafik und Consumer Electronics.
Die Dresdener Halbleiterwerke gehören zu den modernsten Produktionsstätten der Welt. Von AMD Saxony werden Hochleistungsprozessoren der neuesten Generation entwickelt und gefertigt. Dafür stehen Reinraum Produktionsbereiche von über 20.000 m2 der Reinraumklasse 100 zur Verfügung. Der Auftrag an KH-Automation Projects umfasste Aufbau, Montage, Verkabelung und Inbetriebnahme des Facility Management Control Systems (FMCS). Dazu gehörten auch Lieferung, Montage und Inbetriebnahme der zugehörigen Sensorik und Aktorik. Darüber hinaus waren eine Reihe von Fremdgewerken über verschiedene Feldbusschnittstellen bzw. direkte Kopplungen an das FMCS anzuschließen und in die Bedien- und Beobachtungsebene zu integrieren.
Mit Hilfe des FMCS schafft der Unternehmensbereich Facilities die unmittelbaren technischen Voraussetzungen für kontinuierlich und wirtschaftlich ablaufende Fertigungsprozesse. Über das FMCS werden die Versorgungsanlagen bedient und überwacht. Diese Einheiten versorgen die Produktionslinien mit mehr als 120 verschiedenen Chemikalien, Prozessgasen, Reinstwasser und Energie. Außerdem ist das FMCS für die Einhaltung der engen Toleranzen bezüglich Temperatur, Druck und Feuchtigkeit bei der Luftversorgung der Reinräume verantwortlich. Die hohen Anforderungen an die Prozessleittechnik werden auf Basis des dezentralen Prozessleitsystems PMSX®pro gelöst.
Für das FMCS wurde eine Leit- und Automatisierungsarchitektur gewählt, die alle wesentlichen Anlagenteile zu einem Gesamtsystem zusammenfasst. Die wichtigsten Anforderungen an die Prozessleittechnik waren: hohe Verfügbarkeit, umfangreiche Diagnosemöglichkeiten und störungsfreier Austausch von Systemkomponenten. Die dezentrale Systemarchitektur von PMSX®pro wurde dabei konsequent ausgenutzt und mehrere logische PMSX®pro-Systeme (Remote Systeme) aufgebaut, die über das Datennetzwerk miteinander kommunizieren. Die einzelnen Systeme arbeiten völlig autark und können unabhängig voneinander aufgebaut, getestet, gewartet und erweitert werden.
Auf der Automatisierungsebene wird das leistungsfähige Steuerungs- und Regelungssystem P8 der Fa. Nyquist eingesetzt. Beim System P8 handelt es sich um ein Automatisierungssystem, in dem eigene Regelungsmodule – völlig unabhängig von der Steuerung – die Regelungsaufgaben übernehmen. Diese Entkopplung von Steuerung und Regelung bietet zusätzliche Ausfallsicherheit und Performancesteigerung. Die Parametrierung, das Engineering und die Bedienung und Beobachtung der Regelkreise erfolgen dabei über das Prozessleitsystem PMSX®pro. Bei über 600 zum Teil gekoppelten Regelkreisen sind die genannten Systemeigenschaften entscheidende Faktoren.
Dank erfahrener Projektteams und optimaler Unterstützung durch die Zentrale wurde der erste Bauabschnitt von KH-Automation Projects unter enormem Zeitdruck in nur 10 Monaten erfolgreich und zur vollen Zufriedenheit des Kunden fertig gestellt. Seit Inbetriebsetzung der Anlage im Jahr 1999 wurden mehrere Erweiterungen und Migrationen vorgenommen, bei denen besonders die Stärken des verteilten Prozessleitsystems PMSX®pro zum Tragen kamen. Es wurden Erweiterungen des Reinraumbereichs vorgenommen und neue Bürokomplexe gebaut, wodurch die Zahl der von PMSX®pro verarbeiteten Prozessvariablen auf über 60.000 gewachsen ist.
